Aixtron liefert Produktionsanlage für 150-mm-Wafer

Die Aixtron AG, ein Anbieter von Depositions-Anlagen für die Halbleiter-Industrie, gab heute den Verkauf eines Thomas-Swan-Close-Coupled- Showerhead-(CCS)-Reaktors an das Unternehmen AZZURRO Semiconductors AG bekannt. Die Produktionsanlage für 150- mm-Wafer sei mit einer speziellen Vorrichtung zur In-situ-Messung der Substratverspannung ausgestattet.

AZZURRO sei das erste Unternehmen in Deutschland, das den Thomas-Swan-CCS- Reaktor für GaN-basierte Halbleiter wie z. B. LEDs auf Silizium-Wafern verwendet. Diese innovative Technologie sei ein viel versprechender Ansatz, um die Produktionskosten von LEDs weiter zu senken. Diese Technik habe darüber hinaus das Potenzial, den praktischen Nachweis für das Konzept der Hetero-Wafer-Technologie zu liefern, welche die Vorteile der Silizium- und der Verbindungshalbleiter miteinander vereint.

"Dieser Auftrag hat strategische Bedeutung für uns, weil er von einem ehrgeizigen neuen High-Tech-Unternehmen erteilt wurde. Wir sind stolz darauf, dass die außergewöhnlichen Fähigkeiten des Thomas-Swan-CCS-Systems, das eine zuverlässige Plattform für GaN-basierte Halbleiter bietet, einen weiteren Kunden überzeugt hat", kommentierte Dr. Bernd Schulte, Executive Vice President und Chief Operating Officer von Aixtron.