Lambda Physik: Förderung für XTREME

Die Lambda Physik AG gab heute bekannt, dass die Forschungs- und Entwicklungsaktivitäten des Joint Ventures XTREME technologies GmbH der Jenoptik AG und der Lambda Physik AG vom Bundesfinanzministerium für Bildung und Forschung (BMBF) gefördert wird. Ziel der Forschungspartnerschaft sei die Entwicklung von Strahlenquellen im extremen Ultraviolettbereich zur Herstellung leistungsfähiger Chipgenerationen, hieß es. Im Laufe der ersten Etappe des Entwicklungsprozesses bis 2004 werden beide Unternehmen zweistellige Millionen-Euro-Beträge in XTREME investieren.