China baut eigene DUV-Systeme: Wie groß ist die Bedrohung für ASML wirklich?

• ASML - WKN: A1J4U4 - ISIN: NL0010273215 - Kurs: 1.383,000 € (XETRA)

Egal, wie überzeugt man ist: Zwischenzeitlich kann die Börse komplett durchgeknallt sein. Letzte ASML-Earnings: ASML – Prognose deutlich angehoben. WFE-These geht auf! (Q2 2026).

Kommen wir zur Meldung: China hat laut einem Bericht von The Information mit der begrenzten Produktion eigener Immersions-DUV-Lithografiesysteme begonnen. Ein staatlich unterstütztes Unternehmen aus Shanghai plant demnach rund fünf Anlagen im Jahr 2026 und etwa 20 Systeme im Jahr 2027. Erste Auslieferungen sollen an chinesische Halbleiterhersteller wie SMIC, Hua Hong Semiconductor und CXMT gehen.

Die Meldung traf den Markt in einer Phase, in der Anleger sowieso äußerst sensibel auf mögliche technologische Fortschritte aus China reagieren. Sobald eine chinesische Entwicklung als potenzielle Bedrohung für westliche, koreanische oder japanische Halbleiterunternehmen eingeordnet wird, geraten die betroffenen Aktien häufig unmittelbar unter Druck. Der Sell-off betraf undifferenziert alle Player; aber vor allem WFE-Player. Zu Unrecht! Diese Woche stehen u.a. Earnings von KLA, Lam, Advantest, SK Hynix, Teradyne oder Samsung, an.

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Fünf chinesische Systeme treffen auf 131 ASML-Anlagen

Für 2026 sind laut Bericht rund fünf Immersions-DUV-Anlagen geplant. Im Jahr 2027 soll die Produktion auf etwa 20 Systeme steigen. ASML lieferte dagegen bereits im vergangenen Jahr 131 Immersions-DUV-Systeme aus.

Hinzu kommt, dass ASML seine Produktionskapazität im Immersionsbereich laut Earnings für 2027 um rund 30 % erhöhen will. Selbst wenn China die genannten Produktionsziele erreicht, bleibt der Abstand bei den Stückzahlen damit erheblich.

Prototyp und Massenproduktion sind zwei verschiedene Welten

ASML entwickelt Immersions-DUV seit rund 20 Jahren weiter. Chinas Systeme nutzen zwar überwiegend heimische Komponenten, benötigen aber noch japanische Schlüsselbauteile und liegen bei Leistung, Zuverlässigkeit sowie Fertigungsqualität zurück.

Entscheidend ist ohnehin nicht, ob eine Maschine grundsätzlich funktioniert, sondern ob sie im Dauerbetrieb präzise, schnell und wirtschaftlich arbeitet. Overlay, Durchsatz, Verfügbarkeit, Wartung, Ausbeute und Prozessstabilität müssen sich erst in realen Produktionslinien beweisen. Eine erste Auslieferung ist deshalb noch lange keine serienreife Hochvolumenplattform.

Das zentrale Missverständnis der Marktreaktion liegt in der Gleichsetzung eines funktionierenden Systems mit einer kommerziell einsetzbaren Hochvolumenplattform.

ASML verfügte bspw. bereits Ende der 2000er-Jahre über funktionierende EUV-Systeme. Serienfähige Produktionsanlagen kamen jedoch erst 2018 auf den Markt. Und eine Nutzung in der Hochvolumenfertigung etablierte sich erst in den 2020ern.

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DUV erhöht bei modernen Prozessen die Komplexität

Außerdem ist EUV nicht gleich DUV! EUV nutzt extrem kurzwelliges Licht für modernste Strukturgrößen, während DUV mit längeren Wellenlängen arbeitet und für kleinere Nodes deutlich mehr Prozessschritte wie Multipatterning benötigt.

Dabei wird eine einzelne Chipstruktur nicht in einem Arbeitsschritt erzeugt. Stattdessen müssen mehrere Belichtungs-, Ätz- und Prozessschritte miteinander kombiniert werden. Jeder zusätzliche Arbeitsschritt erhöht die Produktionsdauer, die Kosten und das Risiko von Abweichungen.

Die Overlay-Anforderungen steigen ebenfalls. Die einzelnen Muster müssen äußerst präzise übereinandergelegt werden. Kleine Fehler können die Ausbeute reduzieren oder zusätzliche Nachbearbeitung erforderlich machen.

Eine eigene DUV-Anlage würde China mehr technologische Unabhängigkeit bescheren, beseitigt aber nicht die wirtschaftlichen und operativen Nachteile, die bei komplexen Fertigungsprozessen durch mehrfaches Patterning entstehen.

Chinas Anreiz

Chinesische Halbleiterhersteller haben einen klaren strategischen Anreiz, heimische Produktionsanlagen zu testen. Exportbeschränkungen und geopolitische Risiken erhöhen den Druck, kritische Ausrüstung innerhalb Chinas zu entwickeln. Daher sollte diese ERNEUTE Meldung niemanden wundern.

SMIC, Hua Hong Semiconductor und CXMT dürften bereit sein, chinesische DUV-Systeme in begrenztem Umfang zu installieren, zu qualifizieren und gemeinsam mit dem Hersteller weiterzuentwickeln.

Eine sofortige vollständige Umstellung der Chinsen selbst wäre jedoch mit erheblichen Risiken verbunden. Solange die Systeme nicht dieselbe Leistung, Zuverlässigkeit und Verfügbarkeit wie etablierte Anlagen erreichen, könnte ein schneller Austausch bestehender Maschinen die Produktionsleistung und Ausbeute belasten.

China hat in mehreren Segmenten der Halbleiterausrüstung bereits heimische Anbieter aufgebaut. Dazu gehören unter anderem Ätz-, Abscheidungs- und Epitaxiesysteme. Diese Firmen konnten ihre Position im chinesischen Markt ausbauen. Dennoch verloren die führenden internationalen WFE-Player in den anspruchsvollsten Front-End-Prozessen bislang nicht ihre globale Marktstellung.

Fazit

Der Bericht von The Information beruft sich auf zwei nicht namentlich genannte Personen. Andere Medien griffen anschließend die Angaben des Berichts auf. ASML lehnte eine Stellungnahme ab.

Der chinesische Hersteller wurde im ursprünglichen Zusammenhang nicht offiziell bestätigt. In weiteren Berichten und Marktkommentaren wird das in Shanghai ansässige Unternehmen Aishengna als möglicher Anbieter genannt.

Letztlich bleibt damit offen, wie weit die Entwicklung tatsächlich fortgeschritten ist, welche technischen Spezifikationen die Systeme erreichen und wann sie in kommerziellen Fertigungslinien eingesetzt werden können. Die strategische Richtung ist aber definitiv plausibel. China investiert seit Jahren in die Lokalisierung kritischer Halbleitertechnologie.

BofA Securities bestätigte im Zusammenhang mit dem Kursrückgang sein Buy-Rating für ASML und hielt am Kursziel von 2.022 EUR fest. Die Analysten schätzen, dass ein China-bezogener Gegenwind den Umsatz des kommenden Jahres um rund 1,4 Milliarden EUR reduzieren könnte. Dies entspräche etwa 2,4 % des Konzernumsatzes.

BofA argumentiert außerdem, dass sich die Bewertung von ASML deutlich reduziert habe. Die Aktie werde auf Basis der Schätzungen für das Kalenderjahr 2028 mit etwa 19-Fachen des erwarteten Gewinns gehandelt. Der historische Median liege bei rund 32.

Aus Sicht der Bank preist der Markt damit eine deutlich stärkere technologische Disruption ein, als die derzeit bekannten fundamentalen Auswirkungen rechtfertigen.

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