Lambda Physik erhält Auftrag

Das Joint Venture XTREME technologies GmbH der Jenoptik AG und der Lambda Physik AG, hat den 1. Auftrag im Bereich EUV-Strahlquellen erhalten. Auftraggeber ist der britische Mikrostepper-Hersteller Exitech.

Die Auslieferung für die Strahlenquellen ist für das Jahr 2003 geplant. Ursprünglich wurden die ersten Umsätze mit EUV-Strahlquellen erst für 2004/2005 erwartet.

Zudem hat das Joint Venture eine langfristige Kooperation mit Exitech vereinbart. Gemeinsam soll die EUV-Technologie für Mikrostepper entwickelt werden, hieß es.

Finanzielle Details wurden nicht bekannt gegeben.