Jenoptik-Joint Venture liefert Prototypen

Die XTREME technologies GmbH, ein Nanotechnologie-Joint Venture der Jenoptik AG und der Lambda Physik AG hat den ersten Prototypen einer EUV-Strahlquelle ausgeliefert, dies wurde heute mitgeteilt. Strahlquellen werden künftig zur Produktion der neuen Chipgenerationen eingesetzt, hieß es. Mit der EUV-Technologie können dann noch feinere Strukturgrößen erzeugt werden.

Mit der Auslieferung des Prototypen wurde der Zeitplan der Gesellschaft deutlich unterschritten. Ursprünglich waren die ersten Umsätze für das Jahr 2006 geplant.