SÜSS MicroTec setzt auf umweltfreundliche LED-Technologie für Mask Aligner

DGAP-Media / 26.04.2016 / 10:45 

SÜSS MicroTec setzt auf umweltfreundliche LED-Technologie für Mask Aligner

Garching, 26. April 2016 - SÜSS MicroTec, führender Hersteller von Anlagen und Prozesslösungen für die Halbleiterindustrie und verwandte Märkte, gibt heute die Markteinführung eines neuartigen UV-LED-Lampenhauses für den Einsatz in den ersten Belichtungsgeräten, welche seit mehr als fünfzig Jahren am Markt erfolgreich sind, bekannt. Seit seiner Gründung ist das Unternehmen bestrebt, ökonomisches Denken und Handeln mit nachhaltigen Aspekten in Einklang zu bringen. Mit der Entwicklung- und Umsetzung des umweltfreundlichen UV-LED-Lampenhauskonzepts für Mask Aligner ist SÜSS MicroTec ein weiterer wichtiger Schritt in Hinblick auf Ressourcenschonung und Umweltschutz gelungen.

Die Lebensdauer der innovativen UV-LED-Lichtquelle ist um ein Vielfaches höher als bei der bisher verwendeten Quecksilberdampflampe. Zusätzlich entfallen im Produktionsprozess die zeit- und energieintensiven Aufwärm- und Abkühlphasen - die LED muss nur dann eingeschaltet werden, wenn eine Belichtung tatsächlich durchgeführt wird. Beide Faktoren tragen wesentlich zum geringeren Energieverbrauch bei. Zudem stellt die LED Technologie hinsichtlich des Gesundheits-, Arbeits- und Umweltschutzes eine deutlich verbesserte Lösung dar. Schlussendlich ermöglicht der Einsatz von LED Beleuchtung in der Lithografie eine deutlich flexiblere Prozessgestaltung und ist damit eine ideale Ergänzung zur SUSS Mask Aligner MO Exposure Optics, was optimale Belichtungsergebnisse sicherstellt.

"Das neue LED-Lampenhaus bedient sich der neuesten Technologie und erfüllt darüber hinaus die steigende Nachfrage nach Umweltschutz und Energieeffizienz.", sagt Dr. Per-Ove Hansson, CEO von SÜSS MicroTec. "Durch die Kombination von Innovationen mit unserer Umweltstrategie schaffen wir nicht nur Kostenvorteile für unsere Kunden, sondern schützen gleichzeitig unsere Umwelt."

Über SÜSS MicroTec SÜSS MicroTec ist einer der weltweit führenden Hersteller von Anlagen- und Prozesslösungen für die Mikrostrukturierung in der Halbleiterindustrie und verwandten Märkten. In enger Zusammenarbeit mit Forschungsinstituten und Industriepartnern treibt SÜSS MicroTec die Entwicklung von neuen Technologien wie 3D Integration und Nanoimprint Lithographie sowie Schlüsselprozesse für die MEMS und LED Produktion voran. Weltweit sind mehr als 8.000 installierte Systeme von SÜSS MicroTec im Einsatz, unterstützt von einer globalen Infrastruktur für Applikationen und Service. Hauptsitz der SÜSS Gruppe ist in Garching bei München. Für weitere Informationen besuchen Sie www.suss.com.

Kontakt: SÜSS MicroTec AG Franka Schielke Schleissheimer Strasse 90 85748 Garching, Deutschland Tel.: +49 (0)89 32007-161 Fax: +49 (0)89 32007-451 Email: franka.schielke@suss.com

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Emittent/Herausgeber: SÜSS MicroTec AG Schlagwort(e): Forschung/Technologie

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