SÜSS MicroTec liefert 25sten Mask TrackPro

(DGAP-Media / 15.01.2014 / 09:38)

PRESSEMITTEILUNG

SÜSS MicroTec liefert 25sten Mask TrackPro

Garching, 15. Januar 2014 - Die SÜSS MicroTec AG, führender Hersteller von Anlagen und Prozesslösungen für die Halbleiterindustrie und verwandte Märkte hat zum Jahresende 2013 das 25ste System der neuesten Anlagengeneration Mask TrackPro an einen führenden asiatischen IDM ausgeliefert. Hierbei handelt es sich um eine hochkomplexe Maschine zur Reinigung von Frontend-Fotomasken in der Halbleiterfertigung. Der Kunde hat die Installation des Geräts zur Wartung und Reinigung von optischen Masken für die 193i Lithografie in einer neuen Produktionsstätte in China bereits begonnen.

Kein anderes Unternehmen in der Halbleiterbranche kann auf eine vergleichbare Erfahrung und Anzahl an installierten Geräten für die Maskenreinigung zurückblicken. SÜSS MicroTec hat sich als der führende Anbieter von Fotomasken Equipment im Bereich Handling und Reinigung von Fotomasken für die konventionelle 193i Lithografie als auch die neu entwickelte EUV-Lithografie etablieren können.

'In der Halbleiterfertigung ist die Fotomaske ein wichtiger Teil der Frontend-Infrastruktur. Die Maske muss zu jedem Zeitpunkt 100 % perfekt sein, da es andernfalls zur Replizierung von Defekten auf allen prozessierten Wafern kommen würde.', sagt Frank P. Averdung, Vorstandsvorsitzender der SÜSS MicroTec AG. 'Mit unserem Know-how und den Reinigungsgeräten für die 193nm Immersions-Lithografie wie auch die EUV-Lithografie, haben wir im Industrieumfeld Maßstäbe gesetzt.'

Über SÜSS MicroTec SÜSS MicroTec ist einer der weltweit führenden Hersteller von Anlagen- und Prozesslösungen für die Mikrostrukturierung in der Halbleiterindustrie und verwandten Märkten. In enger Zusammenarbeit mit Forschungsinstituten und Industriepartnern treibt SÜSS MicroTec die Entwicklung von neuen Technologien wie 3D Integration und Nanoimprint Lithographie sowie Schlüsselprozesse für die MEMS und LED Produktion voran. Weltweit sind mehr als 8.000 installierte Systeme von SÜSS MicroTec im Einsatz, unterstützt von einer globalen Infrastruktur für Applikationen und Service. Hauptsitz der SÜSS Gruppe ist in Garching bei München. Für weitere Informationen besuchen Sie www.suss.com.

Kontakt: SÜSS MicroTec AG Franka Schielke Schleissheimer Strasse 90 85748 Garching, Deutschland Tel.: +49 (0)89 32007-161 Fax: +49 (0)89 32007-451 Email: franka.schielke@suss.com

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