SÜSS MicroTec erhält Auftrag für Projektionsscanner DSC300 der neuesten Generation

(DGAP-Media / 12.06.2014 / 10:11)

PRESSEMITTEILUNG

SÜSS MicroTec erhält Auftrag für Projektionsscanner DSC300 der neuesten Generation

Garching, 12. Juni 2014 - SÜSS MicroTec, globaler Hersteller von Anlagen und Prozesslösungen für die Halbleiterindustrie und verwandte Märkte hat den Projektionsscanner DSC300 der neuesten Generation bei einem führenden asiatischen Packaging House (OSAT) erfolgreich für die Volumenproduktion qualifiziert. Der Kunde wird die Belichtungsgeräte in der Volumenproduktion für FlipChip und Wafer Level Packaging (WLP) Anwendungen einsetzen, die hohe Ausbeuten erfordern. Mit der geplanten Installation weiterer Systeme wird der Kunde seine Produktionskapazitäten ausbauen, um die steigende Nachfrage nach mobilen Endgeräten und Konsumelektronik bedienen zu können.

Der DSC300 Gen2 Scanner bietet die Fähigkeit der Projektionslithografie mit hohem Durchsatz bei deutlich geringeren Kosten als herkömmliche Projektionsstepper. Neben den Vorteilen, die die Maschine bietet, erlaubt es der DSC300 Gen2 dem Kunden, sich vom Wettbewerb abzugrenzen.

"SÜSS MicroTec ist das weltweit einzige Unternehmen, welches die Vorteile der Vollfeldbelichtung mit denen der Projektionslithografie in einem Gerät anbieten kann", erklärt Frank P. Averdung, Vorstandsvorsitzender der SÜSS MicroTec AG. "Mit der DSC300 haben wir einen vielseitig einsetzbaren Projektionsscanner für den Einsatz in der Volumenproduktion im Halbleiter Backend geschaffen."

Über SÜSS MicroTec SÜSS MicroTec ist einer der weltweit führenden Hersteller von Anlagen- und Prozesslösungen für die Mikrostrukturierung in der Halbleiterindustrie und verwandten Märkten. In enger Zusammenarbeit mit Forschungsinstituten und Industriepartnern treibt SÜSS MicroTec die Entwicklung von neuen Technologien wie 3D Integration und Nanoimprint Lithographie sowie Schlüsselprozesse für die MEMS und LED Produktion voran. Weltweit sind mehr als 8.000 installierte Systeme von SÜSS MicroTec im Einsatz, unterstützt von einer globalen Infrastruktur für Applikationen und Service. Hauptsitz der SÜSS Gruppe ist in Garching bei München. Für weitere Informationen besuchen Sie www.suss.com.

Kontakt: SÜSS MicroTec AG Franka Schielke Schleissheimer Strasse 90 85748 Garching, Deutschland Tel.: +49 (0)89 32007-161 Fax: +49 (0)89 32007-451 Email: franka.schielke@suss.com

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